limЛитье и металлургияLitiyo i Metallurgiya (FOUNDRY PRODUCTION AND METALLURGY)1683-60652414-0406BNTU10.21122/1683-6065-2018-2-99-102lim-2228Research ArticleМатериаловедениеScience of materialsПОЛУЧЕНИЕ КАТОДОВ-МИШЕНЕЙ ИЗ СИЛИЦИДОВ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ИСТОЧНИКОВOBTAINING A CATHODE TARGET OF SILICIDES FOR VACUUM ION-PLASMA SOURCESИвановИ. А.IvanovI. A.

г. Минск

iivanou@bntu.byСлуцкийА. Г.SlutskyA. G.

г. Минск

ШейнертВ. А.SheinertV. A.

г. Минск

КовалевичЭ. В.KovalevichE. V.

г. Минск

Minsk, 65, Nezavisimosti ave.

ХлебцевичВ. Н.KhlebtsevichV. N.

г. Минск

Белорусский национальный технический университетБеларусьBelarusian National Technical UniversityBelarus2018070720180299102Copyright © Иванов И.А., Слуцкий А.Г., Шейнерт В.А., Ковалевич Э.В., Хлебцевич В.Н., 20182018Иванов И.А., Слуцкий А.Г., Шейнерт В.А., Ковалевич Э.В., Хлебцевич В.Н.Ivanov I.A., Slutsky A.G., Sheinert V.A., Kovalevich E.V., Khlebtsevich V.N.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://lim.bntu.by/jour/article/view/2228

В различных отраслях промышленности широко применяются покрытия на основе силицидов разных металлов с использованием вакуумно-плазменной обработки изделий. Качество таких покрытий определяется степенью химической чистоты катода-мишени, правильным выбором смеси технологических газов, а также величиной ускоряющего потенциала, подаваемого на подложку. Традиционные способы получения многокомпонентных мишеней имеют ряд недостатков, таких, как высокая остаточная пористость, избыточное содержание примесей, а также необходимость использования дорогостоящего оборудования.

Перспективным является использование литейных технологий в процессе производства катодов-мишеней. В работе представлены обобщенные результаты экспериментальных исследований особенностей изготовления катодов-мишеней для вакуумных ионно-плазменных источников методами восстановительной и высокоскоростной индукционной плавки. В качестве материала использовали силициды титана, меди и никеля.

The coatings based on silicides of various metals are widely used in various industries by vacuum-plasma processes for products treatment. The quality of such coatings is determined by the degree of chemical purity of the target cathode, the correct choice of a mixture of process gases and the level of accelerating potential supplied to the substrate. Traditional methods for producing multi-component targets have a number of disadvantages, such as: high residual porosity, excess content of impurities, as well as the need for expensive equipment.

The use of casting technologies in the production of target cathodes is promising. The paper presents the generalized results of experimental studies of manufacturing target cathodes for vacuum ion-plasma sources by methods of reduction and high-speed induction melting. Silicides of titanium, copper and nickel were used as the material.

комплексные силицидывосстановительная и индукционная плавкалитые катоды-мишенимакро- и микроструктураcomplex silicidesreduction and induction meltingcast cathodes-targetsmacroand microstructureReferencesМрочек Ж. А. Плазменно-вакуумные покрытия / Ж. А. Мрочек, А. К. Вершина, С. А. Иващенко, И. А. Иванов. Мн.: УП «Технопринт», 2004. 369 с.Mrochek Zh. A., Vershina A. K., Ivashhenko S. A., Ivanov I. A. Plazmenno-vakuumnye pokrytija [Plasma Vacuum Coatings]. Minsk, UP «Tehnoprint» Publ., 2004, 369 p.Электронный ресурс: http://www.researchgate.net/publication/242233096/http://www.researchgate.net/publication/242233096/Иванов И. А. Исследование процесса получения сплавов металл-кремний для изготовления катодов-мишеней / И. А. Иванов, Э. В. Ковалевич, А. Г. Слуцкий, В. А. Шейнерт, И. Л. Кулинич // Материалы ХI Междунар. науч.-техн. конф. «Современные методы и технологии создания и обработки материалов». Минск 14–16 сентября 2016 г. ФТИ НАН Беларуси. Минск, 2016.Ivanov I. A., Kovalevich Je. V., Slutsky A. G., Sheinert V. A., Kulinich V. A. Issledovanie processa poluchenija splavov metallkremnij dlja izgotovlenija katodov-mishenej [Investigation of the process of obtaining metal-silicon alloys for the production of target cathodes]. Materialy HI Mezhdunarodnoj nauchno-tehnicheskoj konferencii «Sovremennye metody i tehnologii sozdanija i obrabotki materialov», 14–16 sentjabrja 2016 g., Minsk [Materials of the XI International Scientific and Technical Conference «Modern methods and technologies for the creation and processing of materials», September 14–16, 2016, Minsk]. FTI NAN Belarusi Publ., Minsk, 2016.Иванов И. А. Особенности получения силицидов для изготовления катодов-мишеней / А. И. Иванов, А. Г. Слуцкий, В. А. Шейнерт, Э. В. Ковалевич, И. Л. Кулинич // Металлургия: Республ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2016. Вып. 37. С. 98–103.Ivanov I. A., Slutsky A. G., Sheinert V. A., Kovalevich Je. V., Kulinich I. L. Osobennosti poluchenija silicidov dlja izgotovlenija katodov-mishenej [Features of obtaining silicides for the production of target cathodes]. Metallurgija: Respublikanskij mezhvedomstvennyj sbornik nauchnyh trudov = Metallurgy: Republican interdepartmental collection of scientific works, Minsk, BNTU Publ, 2016, Vyp. 37, pp. 98–103.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.