Технологические особенности формирования покрытий Ti–Cr–B–N методом магнетронного распыления на постоянном токе


https://doi.org/10.21122/1683-6065-2019-1-112-118

Полный текст:


Аннотация

Приведены результаты исследования фазового состава и физико-механических свойств многокомпонентных покрытий Ti–Cr–B–N, сформированных методом магнетронного распыления на постоянном токе из композиционных мишеней. Изучены особенности фазообразования покрытий при распылении мишеней, содержащих в качестве боросодержащего компонента диборид титана (TiB2) или нитрид бора (BN). Установлены условия осаждения покрытий с микротвердостью до 32 ГПа и термостойкостью вплоть до 800 °C.


Об авторах

С. Д. Латушкина
Физико-технический институт НАН Беларуси
Беларусь
г. Минск, ул. Купревича, 10


И. М. Романов
Физико-технический институт НАН Беларуси
Беларусь
г. Минск, ул. Купревича, 10


А. Р. Лученок
НИИ импульсных процессов с опытным производством Института порошковой металлургии НАН Бнларуси
Беларусь


О. И. Посылкина
Физико-технический институт НАН Беларуси
Беларусь
г. Минск, ул. Купревича, 10


Ю. А. Харлан
Физико-технический институт НАН Беларуси
Беларусь
г. Минск, ул. Купревича, 10


Я. Ю. Мартинкевич
Физико-технический институт НАН Беларуси
Беларусь
г. Минск, ул. Купревича, 10


Список литературы

1. Внуков Ю. Н. О влиянии PVD покрытий на условия резания, износ и стойкость инструмента / Ю. Н. Внуков, Е. Б. Козлова, Э. Б. Кондратюк // Современные технологии в машиностроении. Харьков: НТУ «ХПИ», 2015. Вип. 10. С. 86–113.

2. Технология тонких пленок: справ. / Под ред. Л. Майссела, Р. Лэнга. М.: Советское радио, 1977. Т. 1. 664 с.

3. Верещака А. С. Некоторые методологические принципы создания функциональных покрытий для режущего инструмента. Современные технологии в машиностроении. Харьков: НТУ «ХПИ», 2007. С. 210–232.

4. Андриевский Р. А. Сверхтвердые наноструктурные материалы на основе тугоплавких соединений // Функциональные материалы. 2007. T. 1. № 4. C. 129–133.

5. Локтев Ю. Д. Наноструктурные покрытия высокопроизводительного инструмента // Стружка. 2004. № 2(5). С. 12–17.

6. Дробышевская А. А. Нанокомпозитные покрытия на основе нитридов переходных металлов / А. А. Дробышевская, Г. А. Cердюк, Е. В. Фурсова, В. М. Береснев // ФИП. 2008. Т. 6. № 1–2. С. 81–88.

7. Балабанов В. И. Нанотехнологии. Наука будущего. М.: Эксмо, 2009. 256 с.

8. Клинская-Руденская H. A. О влиянии тугоплавких добавок на структуру и свойства покрытий из самофлюсующихся сплавов / H. A. Клинская-Руденская, Б. П. Кузьмин // Физика и химия обработки материалов. 1996. № 1. С. 55–61.

9. Юпшская-Руденская H. A. Особенности композиционных покрытий на основе Nі–Cr–B–Sі сплавов. Исследование износостойкости покрытий / H. A. Юпшская-Руденская, В. А. Копысов, C. B. Коцот // Физика и химия обработки материалов. 1994. № 6. С. 52–57.

10. Курдюмов А. В. Полиморфные модификации углерода и нитрида бора / А. В. Курдюмов, В. Г. Малоголовец, Н. В. Новиков, А. Н. Пилянкевич. М., 1994. 212 c.

11. Komarov F. F. Formation of Nanostructured TiAlN, TiCrN, and TiSiN coatings using magnetron sputtering / F. F. Komarov, S. V. Konstantinov, V. V. Pilko // Journal of Friction and Wear. 2014. Vol. 35. N 3. P. 215–223.

12. Mattias S. On the film density using high power impulse magnetron sputtering // Surface and Coatings Technology. 2010. Vol. 205. N 2. P. 591–596.

13. Латушкина С. Д., Романов И. М., Жижченко А. Г., Мартинкевич Я. Ю., Харлан Ю. А. Исследование особенностей формирования многокомпонентных покрытий (Ti, Zr)N вакуумно-плазменными методами // Современные методы и технологии создания и обработки материалов. Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки. Минск: ФТИ НАН Беларуси, 2017. С. 167–175.

14. Романов И. М., Лученок А. Р., Посылкина О. И., Харлан Ю. А. Исследование особенностей многокомпонентных TiAl-N покрытий способом магнетронного распыления композиционных мишеней различного состава // Современные методы и технологии создания и обработки материалов. Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки. Минск: ФТИ НАН Беларуси, 2018. С. 218–228.

15. Латушкина С. Д., Романов И. М., Жижченко А. Г., Посылкина О. И. Вакуумно-дуговые наноструктурные покрытия на основе нитрида титана // Перспективные материалы. М. 2014. № 6. С. 49–55.


Дополнительные файлы

Для цитирования: Латушкина С.Д., Романов И.М., Лученок А.Р., Посылкина О.И., Харлан Ю.А., Мартинкевич Я.Ю. Технологические особенности формирования покрытий Ti–Cr–B–N методом магнетронного распыления на постоянном токе. Литье и металлургия. 2019;(1):112-118. https://doi.org/10.21122/1683-6065-2019-1-112-118

For citation: Latushkina S.D., Romanov I.M., Luchenok A.R., Posylkina O.I., Harlan Y.A., Martinkevich Y.Y. Technological features of Ti–Cr–B–N coatings formation by magnetron sputtering method in a direct current. Litiyo i Metallurgiya (FOUNDRY PRODUCTION AND METALLURGY). 2019;(1):112-118. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/1683-6065-2019-1-112-118

Просмотров: 287

Обратные ссылки

  • Обратные ссылки не определены.


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1683-6065 (Print)
ISSN 2414-0406 (Online)