.png)
.png)
.png)
Послать статью по эл. почте 
Технологические особенности формирования покрытий Ti–Cr–B–N методом магнетронного распыления на постоянном токе
https://doi.org/10.21122/1683-6065-2019-1-112-118
Аннотация
Приведены результаты исследования фазового состава и физико-механических свойств многокомпонентных покрытий Ti–Cr–B–N, сформированных методом магнетронного распыления на постоянном токе из композиционных мишеней. Изучены особенности фазообразования покрытий при распылении мишеней, содержащих в качестве боросодержащего компонента диборид титана (TiB2) или нитрид бора (BN). Установлены условия осаждения покрытий с микротвердостью до 32 ГПа и термостойкостью вплоть до 800 °C.
Об авторах
С. Д. ЛатушкинаБеларусь
г. Минск, ул. Купревича, 10
И. М. Романов
Беларусь
г. Минск, ул. Купревича, 10
А. Р. Лученок
Беларусь
О. И. Посылкина
Беларусь
г. Минск, ул. Купревича, 10
Ю. А. Харлан
Беларусь
г. Минск, ул. Купревича, 10
Я. Ю. Мартинкевич
Беларусь
г. Минск, ул. Купревича, 10
Список литературы
1. Внуков Ю. Н. О влиянии PVD покрытий на условия резания, износ и стойкость инструмента / Ю. Н. Внуков, Е. Б. Козлова, Э. Б. Кондратюк // Современные технологии в машиностроении. Харьков: НТУ «ХПИ», 2015. Вип. 10. С. 86–113.
2. Технология тонких пленок: справ. / Под ред. Л. Майссела, Р. Лэнга. М.: Советское радио, 1977. Т. 1. 664 с.
3. Верещака А. С. Некоторые методологические принципы создания функциональных покрытий для режущего инструмента. Современные технологии в машиностроении. Харьков: НТУ «ХПИ», 2007. С. 210–232.
4. Андриевский Р. А. Сверхтвердые наноструктурные материалы на основе тугоплавких соединений // Функциональные материалы. 2007. T. 1. № 4. C. 129–133.
5. Локтев Ю. Д. Наноструктурные покрытия высокопроизводительного инструмента // Стружка. 2004. № 2(5). С. 12–17.
6. Дробышевская А. А. Нанокомпозитные покрытия на основе нитридов переходных металлов / А. А. Дробышевская, Г. А. Cердюк, Е. В. Фурсова, В. М. Береснев // ФИП. 2008. Т. 6. № 1–2. С. 81–88.
7. Балабанов В. И. Нанотехнологии. Наука будущего. М.: Эксмо, 2009. 256 с.
8. Клинская-Руденская H. A. О влиянии тугоплавких добавок на структуру и свойства покрытий из самофлюсующихся сплавов / H. A. Клинская-Руденская, Б. П. Кузьмин // Физика и химия обработки материалов. 1996. № 1. С. 55–61.
9. Юпшская-Руденская H. A. Особенности композиционных покрытий на основе Nі–Cr–B–Sі сплавов. Исследование износостойкости покрытий / H. A. Юпшская-Руденская, В. А. Копысов, C. B. Коцот // Физика и химия обработки материалов. 1994. № 6. С. 52–57.
10. Курдюмов А. В. Полиморфные модификации углерода и нитрида бора / А. В. Курдюмов, В. Г. Малоголовец, Н. В. Новиков, А. Н. Пилянкевич. М., 1994. 212 c.
11. Komarov F. F. Formation of Nanostructured TiAlN, TiCrN, and TiSiN coatings using magnetron sputtering / F. F. Komarov, S. V. Konstantinov, V. V. Pilko // Journal of Friction and Wear. 2014. Vol. 35. N 3. P. 215–223.
12. Mattias S. On the film density using high power impulse magnetron sputtering // Surface and Coatings Technology. 2010. Vol. 205. N 2. P. 591–596.
13. Латушкина С. Д., Романов И. М., Жижченко А. Г., Мартинкевич Я. Ю., Харлан Ю. А. Исследование особенностей формирования многокомпонентных покрытий (Ti, Zr)N вакуумно-плазменными методами // Современные методы и технологии создания и обработки материалов. Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки. Минск: ФТИ НАН Беларуси, 2017. С. 167–175.
14. Романов И. М., Лученок А. Р., Посылкина О. И., Харлан Ю. А. Исследование особенностей многокомпонентных TiAl-N покрытий способом магнетронного распыления композиционных мишеней различного состава // Современные методы и технологии создания и обработки материалов. Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки. Минск: ФТИ НАН Беларуси, 2018. С. 218–228.
15. Латушкина С. Д., Романов И. М., Жижченко А. Г., Посылкина О. И. Вакуумно-дуговые наноструктурные покрытия на основе нитрида титана // Перспективные материалы. М. 2014. № 6. С. 49–55.
Дополнительные файлы
Для цитирования: Латушкина С.Д., Романов И.М., Лученок А.Р., Посылкина О.И., Харлан Ю.А., Мартинкевич Я.Ю. Технологические особенности формирования покрытий Ti–Cr–B–N методом магнетронного распыления на постоянном токе. Литье и металлургия. 2019;(1):112-118. https://doi.org/10.21122/1683-6065-2019-1-112-118
For citation: Latushkina S.D., Romanov I.M., Luchenok A.R., Posylkina O.I., Harlan Y.A., Martinkevich Y.Y. Technological features of Ti–Cr–B–N coatings formation by magnetron sputtering method in a direct current. Litiyo i Metallurgiya (FOUNDRY PRODUCTION AND METALLURGY). 2019;(1):112-118. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/1683-6065-2019-1-112-118
Обратные ссылки
- Обратные ссылки не определены.
