Измерение вертикального рельефа на металлографических микроскопах производства ОАО «Оптоэлектронные системы»

Аннотация

Проиллюстрированы возможности измерения глубины рельефа поверхности на металлографических микроскопах производства ОАО «Оптоэлектронные системы». Для микроскопов МИ-1 и МИКРО-200 рассматривается методика определения высоты рельефа, в основу которой положена связь между углом поворота барабана настройки точной фокусировки и вертикальным перемещением предметного столика. Приводятся примеры измерения глубины кратеров после воздействия лазерного излучения на металлическую поверхность. Для микроскопов МИ-1 и МИКРО-200 глубина лунки была определена как 99,36 и 99,8 мкм соответственно, что согласуется с данными профилометра (~100 мкм). Для плоскопараллельной кварцевой пластинки результаты измерений составили 0,435 мкм при определении микроскопически, а также объект-микрометром. Рассматривается возможность определения толщины покрытий нитрида титана методом дифференциально-интерференционного контраста. Метод позволяет определение толщины по разности интерференционных цветов, если участки изображения находятся на различной высоте. Оценить толщину покрытия можно с использованием номограммы двойного лучепреломления.