Изготовление катодов-мишеней из композиционных силицидов для нанесения защитных покрытий с применением литейно-деформационной технологии

В статье обсуждаются результаты изготовления многокомпонентных расходуемых катодов вакуумных электродуговых испарительных установок. Для получения слитков комплексного силицида, как исходного сырья для изготовления катодов-мишеней, предложено использовать индукционную плавку чистых металлических шихтовых материалов в атмосфере аргона.

Методика позволила получать слитки комплексного силицида состава, близкого к расчетному и плотности не менее 93 %. Дальнейшая формовка катода происходит при контроле фракций порошка по их процентному соотношению при усилии прессования не менее 50 т. Полученные результаты сравниваются с СВС-методом изготовления катодов идентичного состава.

1. Филонов И. П., Мрочек Ж. А., Иванов И. А. Перспективы применения вакуумно‑плазменных технологий в машиностроении и инструментальном производстве // Весцi НАН Беларусi. Сер. фiз.‑тэхн.навук.1999. № 1. С. 32-40.

2. Плазменно‑ваккуумные покрытия / Под общ. ред. Ж. А. Мрочека. Минск: УП «Технопринт», 2004. 369 с.

3. Иванов И. А., Слуцкий А. Г., Шейнерт В. А. Анализ составов и методов получения катодов‑мишеней из кремнийсодержащих сплавов // Металлургия: Респ. межвед. сб. науч. тр. В 2‑х ч. Минск: БНТУ, 2015. Вып. 36. Ч. 1. С. 190-197.

4. Мрочек Ж. А., Эйзнер Б. А., Иванов И. А. Эрозия сплавов кремния с переходными металлами 4‑й группы в стационарной вакуумной дуге // Электронная обработка материалов. 1991. № 5. С. 21-24.

5. Поболь И. Н., Иванов И. А. Новые методы изготовления катодовмишеней для получения многокомпонентных покрытий // Современные материалы, оборудование и технология упрочнения и восстановления изделий. Новополоцк, 1993. С. 67.

6. Иванов, И. А. и др. Технологические варианты получения катодов‑мишеней из силицидов металлов для вакуумных ионно‑плазменных источников // Металлургия: респ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2018. Вып. 39. С. 84-90.

7. Иванов, И. А. и др. Исследование процесса получения сплавов металл‑кремний для изготовления катодов‑мишеней // Материалы ХI Междунар. науч.‑техн. конф. «Современные методы и технологии создания и обработки материалов». Минск 14-16 сентября 2016 г. Минск: ФТИ НАН Беларуси. 2016.

8. Иванов, И. А. Особенности получения силицидов для изготовления катодов‑мишеней / И. А. Иванов, А. Г. Слуцкий, В. А. Шейнерт, Э. В. Ковалевич, И. Л. Кулинич// Металлургия: респ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2016. Вып. 37. С. 98-103.

9. Иванов, И. А. и др. Технологические особенности получения силицидов на основе меди, никеля и титана для катодовмишеней // Металлургия: респ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2017. Вып. 38. С. 84-90.

10. Иванов, И. А. Получение катодов‑мишеней из силицидов для вакуумных ионно‑плазменных источников / И. А. Иванов А. Г. Слуцкий, В.А. Шейнер, Э. В. Ковалевич, В. Н. Хлебцевич // Литье и металлургия. 2018. № 2 (91). С. 99-102.

11. Иванов, И. А. и др. Особенности получения катодов‑мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионноплазменных источников литейно‑деформационным методом // Металлургия: респ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2019. Вып. 40. С. 90-95.

12. Иванов, И. А. и др. Совершенствование процесса получения катодов‑мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионно‑плазменных источников // Металлургия: респ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2020. Вып. 41. Ч. 2. С. 7-14.