.png)
.png)
.png)
Послать статью по эл. почте 
Изготовление катодов-мишеней из композиционных силицидов для нанесения защитных покрытий с применением литейно-деформационной технологии
https://doi.org/10.21122/1683-6065-2021-2-68-75
Аннотация
В статье обсуждаются результаты изготовления многокомпонентных расходуемых катодов вакуумных электродуговых испарительных установок. Для получения слитков комплексного силицида, как исходного сырья для изготовления катодов-мишеней, предложено использовать индукционную плавку чистых металлических шихтовых материалов в атмосфере аргона.
Методика позволила получать слитки комплексного силицида состава, близкого к расчетному и плотности не менее 93 %. Дальнейшая формовка катода происходит при контроле фракций порошка по их процентному соотношению при усилии прессования не менее 50 т. Полученные результаты сравниваются с СВС-методом изготовления катодов идентичного состава.
Об авторах
И. А. ИвановБеларусь
г. Минск, пр. Независимости, 65.
А. Г. Слуцкий
Беларусь
г. Минск, пр. Независимости, 65.
В. А. Шейнерт
Беларусь
г. Минск, пр. Независимости, 65.
А. И. Иванов
Беларусь
г. Минск, пр. Независимости, 65.
А. Н. Белый
Беларусь
г. Минск, пр. Независимости, 65.
Список литературы
1. Филонов И. П., Мрочек Ж. А., Иванов И. А. Перспективы применения вакуумно‑плазменных технологий в машиностроении и инструментальном производстве // Весцi НАН Беларусi. Сер. фiз.‑тэхн.навук.1999. № 1. С. 32–40.
2. Плазменно‑ваккуумные покрытия / Под общ. ред. Ж. А. Мрочека. Минск: УП «Технопринт», 2004. 369 с.
3. Иванов И. А., Слуцкий А. Г., Шейнерт В. А. Анализ составов и методов получения катодов‑мишеней из кремнийсодержащих сплавов // Металлургия: Респ. межвед. сб. науч. тр. В 2‑х ч. Минск: БНТУ, 2015. Вып. 36. Ч. 1. С. 190–197.
4. Мрочек Ж. А., Эйзнер Б. А., Иванов И. А. Эрозия сплавов кремния с переходными металлами 4‑й группы в стационарной вакуумной дуге // Электронная обработка материалов. 1991. № 5. С. 21–24.
5. Поболь И. Н., Иванов И. А. Новые методы изготовления катодовмишеней для получения многокомпонентных покрытий // Современные материалы, оборудование и технология упрочнения и восстановления изделий. Новополоцк, 1993. С. 67.
6. Иванов, И. А. и др. Технологические варианты получения катодов‑мишеней из силицидов металлов для вакуумных ионно‑плазменных источников // Металлургия: респ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2018. Вып. 39. С. 84–90.
7. Иванов, И. А. и др. Исследование процесса получения сплавов металл‑кремний для изготовления катодов‑мишеней // Материалы ХI Междунар. науч.‑техн. конф. «Современные методы и технологии создания и обработки материалов». Минск 14–16 сентября 2016 г. Минск: ФТИ НАН Беларуси. 2016.
8. Иванов, И. А. Особенности получения силицидов для изготовления катодов‑мишеней / И. А. Иванов, А. Г. Слуцкий, В. А. Шейнерт, Э. В. Ковалевич, И. Л. Кулинич// Металлургия: респ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2016. Вып. 37. С. 98–103.
9. Иванов, И. А. и др. Технологические особенности получения силицидов на основе меди, никеля и титана для катодовмишеней // Металлургия: респ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2017. Вып. 38. С. 84–90.
10. Иванов, И. А. Получение катодов‑мишеней из силицидов для вакуумных ионно‑плазменных источников / И. А. Иванов А. Г. Слуцкий, В.А. Шейнер, Э. В. Ковалевич, В. Н. Хлебцевич // Литье и металлургия. 2018. № 2 (91). С. 99–102.
11. Иванов, И. А. и др. Особенности получения катодов‑мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионноплазменных источников литейно‑деформационным методом // Металлургия: респ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2019. Вып. 40. С. 90–95.
12. Иванов, И. А. и др. Совершенствование процесса получения катодов‑мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионно‑плазменных источников // Металлургия: респ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2020. Вып. 41. Ч. 2. С. 7–14.
Дополнительные файлы
Для цитирования: Иванов И.А., Слуцкий А.Г., Шейнерт В.А., Иванов А.И., Белый А.Н. Изготовление катодов-мишеней из композиционных силицидов для нанесения защитных покрытий с применением литейно-деформационной технологии. Литье и металлургия. 2021;(2):68-75. https://doi.org/10.21122/1683-6065-2021-2-68-75
For citation: Ivanov I.A., Slutsky A.G., Scheinert V.A., Ivanov A.I., Bely A.N. Production of target cathodes from composite silicides for applying protective coatings using casting and deformation technologies. Litiyo i Metallurgiya (FOUNDRY PRODUCTION AND METALLURGY). 2021;(2):68-75. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/1683-6065-2021-2-68-75
Обратные ссылки
- Обратные ссылки не определены.
