Комплексный подход к решению технологической задачи получения катодов‑мишеней из силицидов переходных металлов для вакуумных ионно‑плазменных источников

В статье обсуждаются технологические принципы совершенствования процесса изготовления расходуемых катодов-мишеней вакуумных электродуговых испарительных установок из комплексных силицидов, в основу которых положены подбор химического состава, согласно анализу диаграмм состояния двойных и тройных систем, получение быстроохлажденных слитков с использованием высокоскоростной индукционной плавки, последующее измельчение и размол до порошка требуемой фракции, статическое либо динамическое прессование заготовки катода, ее спекание и припайка токовода. Представлены результаты лабораторных исследований процесса и получены опытные образцы изделий.

1. Hume‑Rothery, W. Metallurgical equilibrium diagrams / W. Hume‑Rothery. London: The Institute of Physics, 1952. 400 с.

2. Диаграммы состояния двойных металлических систем: справ.: В 3‑х т.: Т. 3. Кн. 2 / Под общ. ред. Н. П. Лякишева. М.: Машиностроение, 2000. 448 с.

3. Гельд, П. В. Силициды переходных металлов четвертого периода / П. В. Гельд, Ф. А. Сидоренко, А. М. Ефимов. М.: Металлургия, 1971. 584 с.

4. Бережной, А. С. Кремний и его бинарные системы / А. С. Бережной. Киев: Академия наук УССР, 1958. 250 с.

5. Роман, О. В. Прогрессивные способы изготовления металлокерамических изделий: Материалы к I Республ. конф. по порошковой металлургии / О. В. Роман [и др.]. Минск: Полымя, 1971. 170 с.

6. Иванов, И.А. Изготовление катодов‑мишеней из композиционных силицидов для нанесения защитных покрытий с применением литейно‑деформационной технологии / И. А. Иванов, А. Г. Слуцкий, В. А. Штейнерт и др. // Литье и металлургия. 2021. № 2. С. 68–75.

7. Иванов, И. А. Особенности получения катодов‑мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионно‑плазменных источников литейно‑деформационным методом / И. А. Иванов [и др.] // Металлургия: республ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2019. Вып. 40. С. 90–95.

8. Иванов, И. А. Получение катодов‑мишеней из силицидов для вакуумных ионно‑плазменных источников / И. А. Иванов [и др.] // Литье и металлургия. 2018. № 2 (91). С. 99–102.

9. Иванов, И. А. Технологические варианты получения катодовмишеней из силицидов металлов для вакуумных ионно-плазменных источников / И. А. Иванов [и др.] // Металлургия: республ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2018. Вып. 39. С. 84–90.