An integrated approach to solving the technological problem of obtaining target cathodes from transition metal silicides for vacuum ion‑plasma sources
https://doi.org/10.21122/1683-6065-2022-3-83-90
Abstract
The article discusses the technological principles of improving the manufacturing process of consumable cathodes-targets of vacuum electric arc evaporation plants from complex silicides. Which are based on: the selection of chemical composition based on the analysis of state diagrams of double and triple systems, the production of fast-cooled ingots using high-speed induction melting, subsequent grinding and grinding to a powder of the required fraction, static or dynamic pressing of the cathode blank, its sintering and soldering of the current guide. The results of laboratory studies of the process are presented and prototypes of products are obtained.
About the Authors
I. A. Ivanov
Belarusian National Technical University
Belarus
Minsk, Belarus, 65, Nezavisimosty ave.
Belarus
Minsk, Belarus, 65, Nezavisimosty ave.
A. G. Slutsky
Belarusian National Technical University
Belarus
Minsk, Belarus, 65, Nezavisimosty ave.
Belarus
Minsk, Belarus, 65, Nezavisimosty ave.
V. A. Sheynert
Belarusian National Technical University
Belarus
Minsk, Belarus, 65, Nezavisimosty ave.
Belarus
Minsk, Belarus, 65, Nezavisimosty ave.
A. N. Bely
Belarusian National Technical University
Belarus
Minsk, Belarus, 65, Nezavisimosty ave.
Belarus
Minsk, Belarus, 65, Nezavisimosty ave.
References
1. Hume‑Rothery, W. Metallurgical equilibrium diagrams / W. Hume‑Rothery. London: The Institute of Physics, 1952. 400 с.
2. Диаграммы состояния двойных металлических систем: справ.: В 3‑х т.: Т. 3. Кн. 2 / Под общ. ред. Н. П. Лякишева. М.: Машиностроение, 2000. 448 с.
3. Гельд, П. В. Силициды переходных металлов четвертого периода / П. В. Гельд, Ф. А. Сидоренко, А. М. Ефимов. М.: Металлургия, 1971. 584 с.
4. Бережной, А. С. Кремний и его бинарные системы / А. С. Бережной. Киев: Академия наук УССР, 1958. 250 с.
5. Роман, О. В. Прогрессивные способы изготовления металлокерамических изделий: Материалы к I Республ. конф. по порошковой металлургии / О. В. Роман [и др.]. Минск: Полымя, 1971. 170 с.
6. Иванов, И.А. Изготовление катодов‑мишеней из композиционных силицидов для нанесения защитных покрытий с применением литейно‑деформационной технологии / И. А. Иванов, А. Г. Слуцкий, В. А. Штейнерт и др. // Литье и металлургия. 2021. № 2. С. 68–75.
7. Иванов, И. А. Особенности получения катодов‑мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионно‑плазменных источников литейно‑деформационным методом / И. А. Иванов [и др.] // Металлургия: республ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2019. Вып. 40. С. 90–95.
8. Иванов, И. А. Получение катодов‑мишеней из силицидов для вакуумных ионно‑плазменных источников / И. А. Иванов [и др.] // Литье и металлургия. 2018. № 2 (91). С. 99–102.
9. Иванов, И. А. Технологические варианты получения катодовмишеней из силицидов металлов для вакуумных ионно-плазменных источников / И. А. Иванов [и др.] // Металлургия: республ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2018. Вып. 39. С. 84–90.
Review
For citations:
Ivanov I.A., Slutsky A.G., Sheynert V.A., Bely A.N. An integrated approach to solving the technological problem of obtaining target cathodes from transition metal silicides for vacuum ion‑plasma sources. . 2022;(3):83-90. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/1683-6065-2022-3-83-90
