СТОХАСТИЧЕСКИЕ ПОДХОДЫ К ПРОЕКТИРОВАНИЮ ПРОЦЕССОВ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОГО ФОРМИРОВАНИЯ НАНОСТРУКТУРНЫХ ПОКРЫТИЙ
https://doi.org/10.21122/1683-6065-2017-2-76-80
Аннотация
В работе обсуждаются вопросы применения стохастического метода пробной частицы для разработки численного алгоритма расчета пространственных и энергетических параметров однокомпонентного потока металлической плазмы, двигающейся в среде технологического газа. Предложенный расчетный алгоритм позволяет определять плотность распределения плазменного потока по поверхности изделия и проводить оценку потери энергии ионами потока на упругие столкновения при движении в объеме вакуумной камеры. Исследован состав технологического газа и ионной составляющей потока плазмы. Предложена теоретическая модель формирования адсорбционного слоя на поверхности изделия, учитывающая совместное протекание различных явлений на поверхности конденсации.
Об авторах
И. А. Иванов
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
г. Минск, пр. Независимости, 65
Беларусь
г. Минск, пр. Независимости, 65
Д. В. Валейский
Оптическое станкостроение и вакуумная техника ОАО
Россия
г. Минск, ул. Филимонова, 25
Россия
г. Минск, ул. Филимонова, 25
Н. К. Касинский
Оптическое станкостроение и вакуумная техника ОАО
Беларусь
г. Минск, ул. Филимонова, 25
Беларусь
г. Минск, ул. Филимонова, 25
Список литературы
1. Мрочек Ж. А. Плазменно-вакуумные покрытия / Ж. А. Мрочек, А. К. Вершина, С. А. Иващенко, И. А. Иванов и др. Мн.: УП «Технопринт», 2004. 369 с.
2. Иванов И. А., Слуцкий А. Г., Шейнерт В. А. Методы изготовления многокомпонентных катодов-мишеней// Материалы 13-й Междунар. науч.-техн. конф. «Наука – образованию, производству, экономике». В 4-х т. Т. 1. Минск: БНТУ, 2015. С. 313.
3. Томаль В. С., Касинский Н. К., Иванов И. А. Низкоэнергетический источник ионного ассистирования // Материалы. Технологии. Инструменты. 2013. Т. 18. № 1. С. 67–69.
4. Иванов И. А. Формирование параметров низкотемпературной плазмы при дуговом разряде в вакууме // Сб. науч. тр. 9-й Междунар. науч.-техн. конф. «Современные проблемы техносферы и подготовки инженерных кадров», 01–09 октября 2016 г. Сухуми–Донецк: ДонНТУ, 2016. С. 81–84.
5. Иванов И. А. Формирование состава технологического газа в процессе нанесения вакуумно-плазменных покрытий // Сб. науч. тр. «Современные методы и технологии создания и обработки материалов». В 3-х кн. Кн. 2. Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки. Минск: ГНУ ФТИ НАН Беларуси, 2015. С. 147–150.
6. Рябчиков А. И., Степанов И. Б., Еремин С. Е. Исследование зарядового состояния газовой и металлической плазмы с использованием плазменно-иммерсионного пролетного спектрометра // Изв. Томского политехн. ун-та. 2010. Т. 316. № 4. С. 90–93.
7. Иванов И. А. Анализ математических подходов к описанию движения сильно разряженных газов // Материалы Междунар. науч.-техн. конф. «Машиностроение и техносфера XXI века». Севастополь, 2009. ДонНТУ, 2009. Т. 1. С. 276–279.
8. Иванов И. А. Применение метода пробной частицы к моделированию процессов нанесения вакуумных оптических покрытий / И. А. Иванов, И. В. Мисник // Контенант. 2013. Т. 12. № 4. С. 68–73.
9. Иванов И. А., Мисник И. В., Кармажи Х. Т. Е. Численное моделирование процессов массопереноса при вакуумно-плазменной обработке сталей// Литье и металлургия. 2014. № 4 (77). С. 70–73.
10. Иванов И. А. Моделирование процессов массопереноса при нанесении PVD-покрытий / И. А. Иванов, Мисник И. В. // Металлургия: Республ. межведом. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2014. Вып. 35. С. 182–191.
11. Иванов И. А. Расчет параметров направленного потока низкотемпературной плазмы в среде технологического газа методом пробной частицы/ И. А. Иванов, И. В. Мисник // XV Минский Междунар. форум по теплои массообмену, 23–26 мая 2016 г. Т. 3. Минск: Институт теплои массообмена им. А. В. Лыкова НАН Беларуси, 2016. Т. 3. С. 32–35.
12. Томаль В. С., Касинский Н. К., Иванов И. А., Мисник И. В. Исследование процессов формирования структуры вакуумных конденсатов в среде технологического газа // Контенант. 2013. Т. 12. № 4. С. 16–21.
13. Кармажи Х. Т. Е., Иванов И. А. Формирование структуры вакуумных электродуговых многокомпонентных покрытий в среде технологического газа // Прогресивнi технологii i системi машинобудувания: мiжнародний зб. науковых праць. Донецьк: ДонНТУ, 2006. Вип. 31. 356 с.
Рецензия
Для цитирования:
Иванов И.А., Валейский Д.В., Касинский Н.К. СТОХАСТИЧЕСКИЕ ПОДХОДЫ К ПРОЕКТИРОВАНИЮ ПРОЦЕССОВ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОГО ФОРМИРОВАНИЯ НАНОСТРУКТУРНЫХ ПОКРЫТИЙ. Литье и металлургия. 2017;(2):76-80. https://doi.org/10.21122/1683-6065-2017-2-76-80
For citation:
Ivanou I.A., Valeysky D.V., KasinskI M.K. THE STOCHASTIC APPROACHES OF PROCESSES’ DESIGN IN VACUUM-PLASMA FORMATION OF NANOSTRUCTURED COATINGS. Litiyo i Metallurgiya (FOUNDRY PRODUCTION AND METALLURGY). 2017;(2):76-80. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/1683-6065-2017-2-76-80
Просмотров:
614
Послать статью по эл. почте 