ПОЛУЧЕНИЕ КАТОДОВ-МИШЕНЕЙ ИЗ СИЛИЦИДОВ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ИСТОЧНИКОВ

В различных отраслях промышленности широко применяются покрытия на основе силицидов разных металлов с использованием вакуумно-плазменной обработки изделий. Качество таких покрытий определяется степенью химической чистоты катода-мишени, правильным выбором смеси технологических газов, а также величиной ускоряющего потенциала, подаваемого на подложку. Традиционные способы получения многокомпонентных мишеней имеют ряд недостатков, таких, как высокая остаточная пористость, избыточное содержание примесей, а также необходимость использования дорогостоящего оборудования.

Перспективным является использование литейных технологий в процессе производства катодов-мишеней. В работе представлены обобщенные результаты экспериментальных исследований особенностей изготовления катодов-мишеней для вакуумных ионно-плазменных источников методами восстановительной и высокоскоростной индукционной плавки. В качестве материала использовали силициды титана, меди и никеля.

1. Мрочек Ж. А. Плазменно-вакуумные покрытия / Ж. А. Мрочек, А. К. Вершина, С. А. Иващенко, И. А. Иванов. Мн.: УП «Технопринт», 2004. 369 с.

2. Электронный ресурс: http://www.researchgate.net/publication/242233096

3. Иванов И. А. Исследование процесса получения сплавов металл-кремний для изготовления катодов-мишеней / И. А. Иванов, Э. В. Ковалевич, А. Г. Слуцкий, В. А. Шейнерт, И. Л. Кулинич // Материалы ХI Междунар. науч.-техн. конф. «Современные методы и технологии создания и обработки материалов». Минск 14-16 сентября 2016 г. ФТИ НАН Беларуси. Минск, 2016.

4. Иванов И. А. Особенности получения силицидов для изготовления катодов-мишеней / А. И. Иванов, А. Г. Слуцкий, В. А. Шейнерт, Э. В. Ковалевич, И. Л. Кулинич // Металлургия: Республ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2016. Вып. 37. С. 98-103.