ПОЛУЧЕНИЕ КАТОДОВ-МИШЕНЕЙ ИЗ СИЛИЦИДОВ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ИСТОЧНИКОВ


https://doi.org/10.21122/1683-6065-2018-2-99-102

Полный текст:


Аннотация

В различных отраслях промышленности широко применяются покрытия на основе силицидов разных металлов с использованием вакуумно-плазменной обработки изделий. Качество таких покрытий определяется степенью химической чистоты катода-мишени, правильным выбором смеси технологических газов, а также величиной ускоряющего потенциала, подаваемого на подложку. Традиционные способы получения многокомпонентных мишеней имеют ряд недостатков, таких, как высокая остаточная пористость, избыточное содержание примесей, а также необходимость использования дорогостоящего оборудования.

Перспективным является использование литейных технологий в процессе производства катодов-мишеней. В работе представлены обобщенные результаты экспериментальных исследований особенностей изготовления катодов-мишеней для вакуумных ионно-плазменных источников методами восстановительной и высокоскоростной индукционной плавки. В качестве материала использовали силициды титана, меди и никеля.


Об авторах

И. А. Иванов
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Белорусский национальный технический университет


А. Г. Слуцкий
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Белорусский национальный технический университет


В. А. Шейнерт
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Белорусский национальный технический университет


Э. В. Ковалевич
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Белорусский национальный технический университет


В. Н. Хлебцевич
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Белорусский национальный технический университет


Список литературы

1. Мрочек Ж. А. Плазменно-вакуумные покрытия / Ж. А. Мрочек, А. К. Вершина, С. А. Иващенко, И. А. Иванов. Мн.: УП «Технопринт», 2004. 369 с.

2. Электронный ресурс: http://www.researchgate.net/publication/242233096/

3. Иванов И. А. Исследование процесса получения сплавов металл-кремний для изготовления катодов-мишеней / И. А. Иванов, Э. В. Ковалевич, А. Г. Слуцкий, В. А. Шейнерт, И. Л. Кулинич // Материалы ХI Междунар. науч.-техн. конф. «Современные методы и технологии создания и обработки материалов». Минск 14–16 сентября 2016 г. ФТИ НАН Беларуси. Минск, 2016.

4. Иванов И. А. Особенности получения силицидов для изготовления катодов-мишеней / А. И. Иванов, А. Г. Слуцкий, В. А. Шейнерт, Э. В. Ковалевич, И. Л. Кулинич // Металлургия: Республ. межвед. сб. науч. тр. Минск: БНТУ, 2016. Вып. 37. С. 98–103.


Дополнительные файлы

Для цитирования: Иванов И.А., Слуцкий А.Г., Шейнерт В.А., Ковалевич Э.В., Хлебцевич В.Н. ПОЛУЧЕНИЕ КАТОДОВ-МИШЕНЕЙ ИЗ СИЛИЦИДОВ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ИСТОЧНИКОВ. Литье и металлургия. 2018;(2):99-102. https://doi.org/10.21122/1683-6065-2018-2-99-102

For citation: Ivanov I.A., Slutsky A.G., Sheinert V.A., Kovalevich E.V., Khlebtsevich V.N. OBTAINING A CATHODE TARGET OF SILICIDES FOR VACUUM ION-PLASMA SOURCES. Litiyo i Metallurgiya (FOUNDRY PRODUCTION AND METALLURGY). 2018;(2):99-102. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/1683-6065-2018-2-99-102

Просмотров: 260

Обратные ссылки

  • Обратные ссылки не определены.


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1683-6065 (Print)
ISSN 2414-0406 (Online)