Для цитирования:

Иванов И.А., Слуцкий А.Г., Шейнерт В.А., Ковалевич Э.В., Хлебцевич В.Н. ПОЛУЧЕНИЕ КАТОДОВ-МИШЕНЕЙ ИЗ СИЛИЦИДОВ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ИСТОЧНИКОВ. Литье и металлургия. 2018;(2):99-102. https://doi.org/10.21122/1683-6065-2018-2-99-102

For citation:

Ivanov I.A., Slutsky A.G., Sheinert V.A., Kovalevich E.V., Khlebtsevich V.N. OBTAINING A CATHODE TARGET OF SILICIDES FOR VACUUM ION-PLASMA SOURCES. Litiyo i Metallurgiya (FOUNDRY PRODUCTION AND METALLURGY). 2018;(2):99-102. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/1683-6065-2018-2-99-102